该厂为84英寸晶圆种植线配备的超净水系統，没天呈现含硅废渣150吨。废渣中虽无高价属，但硅含碳量高易积灰，且电阻器率需到18MΩ·cm能够回收利用。原先治理工学院艺时未能够满足新发布的《电子无线工业生产水危害物减排标准》（GB39731-2020）有点减排卫生防护距离。 废水处理含量特殊性 常见破坏物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗粒物硅（粒度分布0.1-1μm） 唯一性追求 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 水环境特征 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅有机化合物社会形态很复杂 加工的工艺注意事项 革新采用了"梯级膜分离出来+电去铝离子"团体工艺设计： 微滤预补救 ：1μm瓷器膜拦住大小粒硅，通量维系80LMH 化合物调换树脂胶 ：D201大孔硅橡胶抉择性吸出硅酸原子核 2级RO设备 ：二、段收回率60%，二、段用高脱硼膜电气元件 EDI电去铝离子 ：电压黏度2A/m²，连续清除多余阳离子 太阳光的紫外线灭菌 ：254nm红外光谱线使用量40mJ/cm² 技术工艺工作亮点 搭建专用箱阻硅剂（有机质胺类包覆物），廷缓膜被污染的阶段3倍 EDI组件信息化流道来设计，硅避开率改善至99.8% 百度在线硅探讨仪（在线测量範圍0.1-500μg/L）达成精准定位有效控制 执行功效 经其三通检测工具： 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼浓度从8μg/L减至0.3μg/L 整体回笼率从原40%提高至68% 膜换掉生长期拉长至5年，年运作成本低降低35%