某半导呈现中小型企业因晶圆的清洗道工序呈现含氨废气，排水量200吨/天。废气中除氟化物外还内含氟化物和轻微巨资属，外理難度大。各地排放标淮标淮想要氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 电镀废水含量及种类 晶圆除垢废渣（最主要的种类）：含挥发酚200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工艺程序废水处理：含轻微铜、镍等血本属，pH值震荡大 CMP研磨设备废渣：含硅粒子及氧化还原电位 治理 工艺设备具体流程 所采用"无机化学沉淀物+膜溶合+折点氯化"组合式工艺流程： 预办理 ：污泥脱水CaCl2除氟，把控好pH在7.5-8. 超滤膜模式 ：删去0.01μm超过粒状物 反渗透设备性精炼 ：将高锰酸盐指数浓缩提炼至1000mg/L往上 折点氯化 ：高精度管理氯加药系统量，将高锰酸盐指数和转化了为惰性气体 正离子交流 ：有效保障高价属达到标准 终究使用效果 高锰酸盐指数平稳＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属占比高出检验限 水使用率达75% 污泥处理制造量下降40%