济南某半导体器件心片创造厂，晶圆鑫霖环保过程中 中发生含硅、氟的特殊的废液，制定治理数量1200吨/日。废液组成成分缜密，内含纳米技术级硅颗粒剂及氢氧化钠，传统式治理方式方法难易及格。 污废水 化学物质及起源 核心被污染的物 ：固体硅（100-500nm颗粒直径）、氟阴离子（200-300mg/L）、异丙醇 的来源程序 ：晶圆刻蚀电镀生产废水（45%）、CMP物理化学厂家增加光泽电镀生产废水（40%）、主设备冲干净水（15%） 加工鑫霖环保的流程 全新分为"催化滤渣+防化膜拆分"技能的路线： 钙盐滤渣 ：污泥脱水氯化钙快速清理氟阴离子（绘制CaF2积淀） 水解酸化池不良反应 ：pp二沉池剂保持电解质溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm管径膜截流微细粒子 反融合软件系统 ：脱盐率>98%，利用率75% 减压蒸馏析出 ：浓水段达到氟化物零直接排放 终于作用 氟化物质量浓度：<8mg/L（少于欧洲国家1级规定10mg/L） 硅分子量：<5mg/L 水教育资源循环率：70%用以制冷塔皮肤补水 垃圾少：蒸发掉食物残渣量较传统式流程少60%